عایق‌های سرامیکی آسیاب شده ۵ محوره برای تجهیزات نیمه‌هادی و اتاق‌های تمیز

در دنیای پرمخاطره تولید نیمه‌هادی‌ها و محیط‌های اتاق تمیز، هر قطعه باید عملکرد بی‌نقصی ارائه دهد.پی اف تی، ما در صنایع دستی تخصص داریمعایق‌های سرامیکی آسیاب‌شده ۵ محورهکه دقت و قابلیت اطمینان را از نو تعریف می‌کنند. با بیش از 20+با تکیه بر سال‌ها تخصص، راهکارهای ما برای برآورده کردن نیازهای دقیق تجهیزات نیمه‌هادی، تضمین پایداری حرارتی، عایق الکتریکی و عملکرد بدون آلودگی در محیط‌های فوق حساس، مهندسی شده‌اند.

چرا عایق‌های سرامیکی آسیاب شده ۵ محوره ما را انتخاب کنیم؟

۱.قابلیت‌های پیشرفته تولید

تأسیسات ما مجهز بهماشین‌های فرز CNC پنج محوره پیشرفتهکه امکان دقت در سطح میکرون را در شکل‌دهی سرامیک‌های پیشرفته مانند آلومینا (Al₂O₃)، کاربید سیلیکون (SiC) و نیترید آلومینیوم (AlN) فراهم می‌کند. برخلاف روش‌های مرسوم، ماشینکاری ۵ محوره امکان ایجاد هندسه‌های پیچیده را فراهم می‌کند - که برای اجزایی مانند پین‌های بالابر ویفر، قطعات محفظه رسوب‌گذاری و عایق‌های مقاوم در برابر پلاسما بسیار مهم است.

ویژگی‌های کلیدی:

•دقت:تلرانس ±0.005 میلی‌متر برای ادغام یکپارچه با ابزارهای لیتوگرافی ASML یا سیستم‌های حکاکی Lam Research.
•تنوع مواد:بهینه شده برای آلومینای 99.8٪، SiC با خلوص بالا و سایر سرامیک‌های پیشرفته.
•پرداخت سطح:Ra <0.2μm برای به حداقل رساندن تولید ذرات در اتاق‌های تمیز کلاس 1 ISO.

۲.مهندسی فرآیند اختصاصی

مهندسان ما توسعه داده‌اندکنترل‌های فرآیند حلقه بستهکه با شکنندگی سرامیک در حین ماشینکاری سازگار می‌شوند. با ترکیب تکنیک‌های فرزکاری خشک با میرایی ارتعاش در زمان واقعی، به سطوح بدون ترک و طول عمر قطعات افزایش یافته دست می‌یابیم - حتی تحت چرخه‌های حرارتی شدید (تا ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد).

نوآوری برجسته:

•پروتکل‌های کاهش استرس:به حداقل رساندن ریزشکستگی‌ها در عایق‌های AlN برای کاربردهای CVD.
•عملیات پس از ماشینکاری:HIP (پرس ایزواستاتیک داغ) چگالی و مقاومت در برابر خوردگی را افزایش می‌دهد.

۳.تضمین کیفیت دقیق

هر عایقی دستخوش تغییراتی می‌شودبازرسی ۱۲ مرحله‌ای، از جمله:

•دستگاه اندازه‌گیری مختصات (CMM)اعتبارسنجی ابعاد بحرانی.
•آزمایش نشت هلیومبرای سازگاری با خلاء.
•طیف‌سنجی پرتو ایکس با پراکندگی انرژی (EDS)برای تأیید خلوص مواد.

ماسیستم دارای گواهینامه ISO 9001/14001قابلیت ردیابی را از تهیه مواد اولیه (تهیه شده از تأمین‌کنندگان رده ۱ مانند CoorsTek) تا بسته‌بندی نهایی تضمین می‌کند.

کاربردها: جایی که دقت با عملکرد ترکیب می‌شود

عایق‌های ما در موارد زیر مورد اعتماد هستند:

•ابزارهای اچ و رسوب:اجزای پوشش داده شده با SiC برای مقاومت در برابر پلاسما در ماژول‌های Applied Materials™.
•کاشت کننده‌های یون:پین‌های بالابر آلومینا با پوشش‌های ضد الکتریسیته ساکن برای جلوگیری از لغزش ویفر.
•سیستم‌های مترولوژی:عایق‌های با انبساط حرارتی کم برای مراحل لیتوگرافی EUV.

مطالعه موردی:یک تولیدکننده اصلی قطعات نیمه‌هادی پیشرو، پس از روی آوردن به سردوش‌های SiC با طراحی سفارشی، زمان از کارافتادگی ابزار را تا ۴۰٪ کاهش داد، که در پردازش ویفر ۳۰۰ میلی‌متری از قطعات رقبا بهتر عمل کرد.

فراتر از تولید: رویکردی مشارکتی

•نمونه‌سازی سریع:فایل‌های CAD خود را ارسال کنید و نمونه‌های اولیه کاربردی را در عرض ۷ روز دریافت کنید.
•بسته‌بندی در محل اتاق تمیز:مونتاژ اختیاری اتاق تمیز کلاس 10 برای ادغام مستقیم ابزار.
•پشتیبانی فنی مادام العمر:مهندسان ما خدمات تجزیه و تحلیل سایش و ماشینکاری مجدد را برای افزایش چرخه عمر قطعات ارائه می‌دهند.